Elektronenstrahlmikrosonde (ESMA/EPMA) und WDX-Analysen

Unsere Ausstattung

Die Elektronenstrahlmikrosonde (Elektronenstrahl-Mikroanalyse)

Typ: JEOL JXA-8600

Elektronenstrahl-Mikrosonde mit SE-, BSE-Detektoren und WDX-Spektrometern

Die Elektronenstrahl-Mikrobereichsanalyse ist ein Verfahren zur schnellen Übersichtsanalyse oberflächennaher Bereiche und kann auch zur Charakterisierung von dünnen Schichten eignesetzt werden.

Wir im HDZ Prüf- und Analyselabor betreiben eine Elektronenstrahlmikrosonde (ESMA bzw. engl. EPMA) mit fünf parallel einsetzbaren WDX-Detektoren. Die Elementanalysen sind durch die Kalibration an Standardproben quantitative und absolute Werte. Hierdurch ist es möglich, Belegungen und Schichtdicken zu ermitteln und Spurenanalytik durchzuführen.

 


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Anwendungsbeispiel Dünnschichtanalyse

Detaillierte Beschreibung der experimentellen Dünnschichtanalyse mittel Elektronenstrahlmikrosonde

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