Transmissionselektronenmikroskop (TEM) und EDX, EELS, Beugung

Das Transmissions-Elektronenmikroskop

Transmissionselektronenmikroskop mit Modi EFTEM, Hochauflösung (HRTEM), HAADF, EDX-Detektor, PEELS und Heating Stage

Die Transmissionselektronenmikroskopie (kurz TEM) ist ein Verfahren zur Strukturabbildung in dünnen Probenschnitten (z.B. FIB-Schnitte), das Informationen über Schicht-Morphologien, Gefüge, Kristalldefekte, Grenzflächen, Korngrenzenbelegungen, Kristallstrukturen, Kristallinität usw. bei Dünnschichtsystemen oder Werkstoffen liefert.

Untersuchungen von Stapelfehlern, Versetzungen, Ausscheidungen und Texturen sind mit äußerst hoher Ortsauflösung möglich. Selbst Kristallstrukturen in atomarer Auflösung können sichtbar gemacht werden. Durch die Unterstützung von Spektroskopen (z.B. EDX) lassen sich zudem Analysen kleinster Bereiche vornehmen.

Zum Einsatz kommt das TEM beispielsweise bei Schichtdickenmessungen bei Nanoschichten oder Nanoschichtsystemen, bei Mikrostrukturen (Elektronik), bei Betrachtungen zur Oxidation von Materialien oder zur Untersuchung von mechanischen Spannungen.

Bei dem uns verfügbaren TEM sind verschiedene Modi möglich.