Galerie und Untersuchungsbeispiele


Vergleich von REM mit Wolframkathode und FE-REM

  • Bei der Suche nach einem Dienstleister für Rasterelektronenmikroskopie stößt man teilweise auf große Unterschiede bei Preisen und Verfügbarkeit. Hintergrund sind aber oft nicht die kaufmännischen Kalkulationen, sondern die Art des REMs selbst.
  • Einfache Untersuchungen lassen sich beispielsweise mit einem Tisch-REM durchführen. Diese Geräte arbeiten oft mit einem groben Vakuum, sind einfach zu bedienen und besitzen ein einfaches Schleusensystem. Oft passen diese Tisch-REMs tatsächlich auf einen Schreibtisch und sind für einen hohen Probendurchsatz gedacht. Der Elektronenstrahl wird herkömmlich über eine Wolframkathode erzeugt, weshalb hohe Ströme, aber ein geringes Auflösungsvermögen erreicht werden.
  • Für tiefergehende Untersuchungen mit hohen Vergrößerungen und höherem Auflösungsvermögen verwendet man eher Feldemissions-REMs. Diese Geräte sind deutlich größer, haben einen justierbaren Elektronenstrahl und arbeiten mit feinerem Vakuum. Die Erzeugung der Elektronen erfolgt hier mittels Feldemission, weshalb die Ströme geringer und das Auflösungsvermögen besser sind.
  • Für einen objektiven Vergleich haben wir ein und diesselbe Probe mittels Tisch-REM und mittels FE-REM untersucht. Die Gegenüberstellung ähnlicher Proben- und Bildbereiche sehen Sie unten.
  • Wir arbeiten ausschließlich mit einem FE-REM.
Vergleich unterschiedlicher Gerätequalitäten
Vergleich unterschiedlicher Gerätequalitäten

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