REM - Rasterelektronenmikroskop

Das Rasterelektronenmikroskop (kurz: REM, engl.: SEM) ist ein vielseitiges Analyseinstrument und Mikroskop in einem Gerät. Es existieren eine Vielzahl von unterschiedlichen Varianten, wobei der Kern eines jeden REM-Gerätes die Untersuchung des Probenmaterials mit einem Elektronenstrahl ist.

Probenkammer des REM

Die Verwendung eines Elektronenstrahls hat mehrere Vorteile.
Zum einen entsprechen schnelle Elektronen einer sehr kurzen Wellenlänge, was das Auflösungsvermögen deutlich erhöht und erlaubt, kleinste Details zu analysieren.

REM SE-Bild

Außerdem treten die Elektronen in Wechselwirkung mit dem Probenmaterial (z.B. EDX, WDX) und können auf diese Weise wichtige Informationen zum Material selbst liefern.

Bei der Rasterelektronenmikroskopie, die wir im HDZ Prüf- und Analyselabor Aachen anbieten, wird der Elektronenstrahl systematisch über die Probe geführt (gerastert) und die erhaltenen Informationen mit der Position des Elektronenstrahls auf der Probe korreliert.

Durch diese methodische Vorgehensweise erhält man das Erscheinungsbild der Probenoberfläche (Bildgebung im SE-Modus oder BSE-Modus) und gleichzeitig Informationen zum Material selbst (z.B. Elementaranalysen, Zusammensetzung, Elementverteilung).

In unserem Haus verwenden wir ein hochauflösendes Feldemissions-REM (FE-REM). Die laterale Auflösung beträgt hier nur 1,5 nm, womit Vergrößerungen von über 100.000fach möglich sind und Strukturen von wenigen Nanometern erkennbar werden.

Für die Elementanalyse steht uns ein hochsensibler EDX-Detektor zur Verfügung, der durch die Verwendung eines besonders großen und superultradünnen Detektorfensters (SUTW) auch für leichte Elemente hervorragende Analysen garantiert. Der Nachweis aller Elemente einschließlich Bor (Ordnungszahl 5) ist somit möglich.

Eine REM-Untersuchung liefert viele wichtige Informationen Ihrer Probe in kürzester Zeit und mit verhältnismäßig wenig Präparationsaufwand. So sind zerstörungsfreie Materialanalysen mithilfe des REM normalerweise problemlos möglich. Auch kurzfristige und zeitnahe Untersuchungen können Sie bei uns in Auftrag geben.

Mit unserem hauseigenen Labor für Elektronenmikroskopie sind wir Ihr Partner für Werkstoffanalysen und Materialprüfung im Raum Aachen, Mönchengladbach, Köln und Düsseldorf, aber auch bundes- und europaweit.

Lexikon und Begriffserklärung

Begriffe der Elektronenmikroskopie:

Begriffe der Oberflächenanalytik und Oberflächentechnik:

Begriffe der Materialprüfung und Materialkennwerte:

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